EFM1500系列由希腊ES SYSTEM公司开发，是一种基于热膜风速计原理的用于气体质量流量测量的插入式气体质量流量计。
EFM1500系列，可在宽动态范围内快速准确地测量气体流量。每个变送器在外壳内集成了MEMS流量传感器和读出电子元件，外壳由形变系数非常小的不锈钢制成。工作压力为11bar。所有测量数据都经过充分校准并进行温度补偿，从而降低了温度系数，提高了测量精度。
标准系统提供模拟信号输出，具有良好的重现性和迟滞性，并具有较高的分辨率。校准气体为空气，也可根据要求提供其它非腐蚀性气体。
结构紧凑的EFM1500系列气体质量流量计与强固型不锈钢外壳相结合，使其成为工业受限空间应用的最理想的选择。为便于安装运输，还可根据要求提供一系列直插式管接头（φ20、φ25、φ32）。
应用及案例
· 过程自动化
· 燃烧控制
· 燃料电池
产品特色
· 单向操作
· 稳定性强
· 宽动态范围
· 工作压力高
· 良好的重现性和稳定性
· 低温度系数
· 结构紧凑
性能指标
校准气体 空气，其它可用气体根据要求
流量范围 高达1500 SLPM，单向
供电电压 14V至32V
工作压力 11bar
预热时间 35ms
输 出 4-20mA
精 度 ±2%读数+0.3%满量程
分 辨 率 12位
输出刷新率 10Hz
操作温度 -40℃ ~ 85℃
校准温度 0℃ ~ 50℃
湿 度 0% - 95% RH, 无冷凝
尺 寸 35×56mm（φ×L）
材 质 接液材质：316不锈钢、金、硅、氮化硅、硅氧化物、
环氧树脂、硅橡胶、FR4、聚氨酯
外壳材质：316不锈钢
过程接口 φ20，φ25，φ32
电气接口 电缆
防护等级 IP65
认 证 RoHS, CE,WEEE
订货选型
选型示例 EFM1500-XXXX-X-XXX-X
含 义
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EFM1500 |
-XXXX |
-X |
-XXX |
-X |
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产品型号 |
流量范围SLPM 0300-1500（可指定） |
气体 -A 空气 -O 其它 |
过程接口（φ） -P20 直径20mm -P25 直径25mm -P32 直径32mm |
控制码 |