EFM500由希腊ES SYSTEM公司开发，是一种基于热膜风速计原理的用于质量气体流量测量的MEMS气体流量传感器系列。
EFM500气体流量传感器的特征是：可双向检测气体流量，测量范围是±（20-500 ）SLPM，总误差为读数的1%。流线型对称设计，高质量塑料制造，即使在双向最大流量下也呈现非常低的压降。校准气体为空气，也可根据要求提供其他非腐蚀性气体。
工作电压低至3.3V，EFM500气体流量传感器在SPI或I2C总线上提供校准和温度补偿输出，即插即用，可直接连接到低压MCU和系统。为用户提供多种选择（如电源、单向/双向或模拟输出），以便根据每个应用的具体要求选择正确的传感器配置。
EFM500具有结构紧凑、通用性强等优点，其高精度和高可靠性对于医疗、过程自动化和制药设备这些行业尤为重要，是理想的气体质量流量计。
应用及案例
· 医 疗（麻醉机、心脏辅助设备心泵、肺活量计、供氧计量……）
· 分析仪器（光谱仪、色谱仪……）
· 过程自动化（泄漏检测、真空泵检测……）
· 制药设备
· 实 验 室
· 环境监测
· 燃烧控制
· 燃料电池
产品特色
EFM500气体流量传感器的特征是：可双向检测气体流量，测量范围是±（20-500 ）SLPM，总误差为读数的1%。流线型对称设计，高质量塑料制造，即使在双向最大流量下也呈现非常低的压降。校准气体为空气，也可根据要求提供其他非腐蚀性气体。
性能指标
校准气体 空气，其它可用气体根据要求
流量范围 ±（ 20-500 ）SLPM，双向或单向
供电电压 3.3V 或 5V
工作压力 1.45BarA
预热时间 35ms
输出信号 I2C，SPI，0-5V，0-3.3V
总 误 差 1%读数
ADC分辨率 16位
输出刷新率 1ms（ 1KHz ）
压 损 <750pa@200 SLPM
操作温度 - 40℃ ~ 85℃
校准温度 0℃ ~ 50℃
湿 度 0% - 95% RH, 无冷凝
尺 寸 44×92.8×35.4mm（W×L×H)
材 质 接液材质：增强玻璃热塑性聚合物、金、硅、氮化硅、硅氧化物、
环氧树脂、硅橡胶、FR4、聚氨酯、316不锈钢
外壳材质：增强玻璃热塑性聚合物
过程接口 22mm ISO 5356
电气接口 2mm 锁定连接器
认 证 RoHS, CE,WEEE
选项配件
评估套件
气体流量评估套件被设计成一款即插即用型设备，无需定制软件或硬件设计及开发，旨在为用户提供一个紧凑的解决方案来评估EFM500系列双向气体质量流量计。开发了一个用户友好的软件用于记录和监测EFM500系列的流量数据。
产品大图
订货选型
选型示例 EFM500-XXX-X-X-X-X-X
含 义
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EFM500 |
-XXX |
-X |
-X |
-X |
-X |
-X |
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产品型号 |
流量范围SLPM 020-500（可指定） |
方向 -B 双向型 -U 单向型
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气体 -A 空气 -O 其它 |
输出信号 -I I2C -S SPI -A 0-5V -B 0-3.3V |
供电 -L 3.3V -H 5.0V |
控制码 |