美国ALICAT 20S系列抗腐蚀型质量流量计，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。具有NIST可溯源校准证书。
可精确、快速测量腐蚀性气体（如：NH3、H2S、SiH4等）的质量流量、体积流量、压力和温度，适用于多种流量测控场合。
应用及案例
● 大学/研究所
● 泄漏检测
● 环境监测
● 真空行业及镀膜
● 工业炉窑
● 半 导 体
● 汽车制造
● 计量校准
● 过程工艺气体测量
产品特色
● 数字化产品
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 可选高精度：优于0.5%
● 量程可测比1%-100%
● 响应时间快，仅需10 ms
● 内置130种常规以及腐蚀性气体
● 可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气
● 可适用于诸多腐蚀性气体
技术指标
介质要求 洁净、干燥的气体，腐蚀和非腐蚀性均可
介质种类 内置了130种气体，请参考背面
一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量 程 从0-0.5 SCCM 到 0-5000 SLPM（详情请咨询）
最大显示流量 128 %满量程
显 示 屏 带按键，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精 度 ±（0.8 %读数 + 0.2 %满量程）
高 精 度 ±（0.4 %读数 + 0.2 %满量程），选配
仅适用于量程为5 SCCM - 500 SLPM的设备
累计流量精度 流量精度之外增加±0.5%额外误差
重 复 性 ± 0.2 %满量程
质量流量零点和满量程温度漂移 0.02%满量程/℃（从25℃开始）
质量流量零点和满量程压力漂移 ±（0.08% 读数+ 0.02% 满量程）
（从校准压力开始）
响应时间 10 ms
预热时间 ＜1 s
默认标况（STP） 25 ℃ & 1Atm（其它标况可调）
工作温度 -10 ～ 60 ℃（可选高温/低温选项）
温度精度 ±0.75℃
工作湿度 0 ～100 %，无冷凝
最大工作压力 1 MPa 表压
最低操作压力 如果不做真空特殊标定，建议在绝压80 KPaA以上使用；
其他真空压力建议做特殊标定
压力精度 ±0.5%满量程
极限耐压 1.1MPa 表压，进出口最大瞬时压差可为0.5 MPa
满量程压损 参考详细压损表
数据刷新频率 数字信号40 Hz@ 19200波特率；
模拟信号：1000 Hz
屏幕刷新频率 10 Hz
数字输出信号 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、
Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
模拟输出信号 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可选第二路模拟输出 质量流量、体积流量、压力、温度
模拟信号精度 在基础误差上额外增加 ± 0.1 % 量程误差
供电电压 9 - 24VDC （如选4 - 20 mA输出，须为12 - 24 VDC ）
供电电流 40 mA （+ 40 mA输出电流在 4-20 mA 或0-10VDC）
电气接口 DB9M，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN等
泄漏率（外漏） 选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 质 316L不锈钢、FFKM（标准)
可根据特殊气体选用FKM、EPDM、Buna
过程连接 详情参考压损表
安装方式 对位置无要求
防护等级 IP40
认 证 ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA（可选）
尺寸详图
尺寸压损
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满量程质量流量计 |
满量程压损1（psid） 排气到大气中 |
机械尺寸 |
管道连接接口2 |
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0.5 sccm - 1 sccm |
1.0 |
4.4''H ×2.4''W ×1.1''D |
M-5 （10-32）（内螺纹） （Buna-N表面密封至1/8''NPT内） |
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2 sccm - 50 sccm |
1.0 |
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100 sccm - 20 slpm |
1.0 |
4.6''H ×2.4''W ×1.1''D |
1/8''NPT内螺纹 |
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50 slpm |
2.0 |
5.1''H ×4.0''W ×1.6''D |
1/4''NPT内螺纹 |
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100 slpm |
2.5 |
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250 slpm |
2.1 |
5.7''H ×4.0''W ×1.6''D |
1/2''NPT内螺纹 |
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500 slpm |
4.0 |
5.7''H ×4.0''W ×1.6''D |
3/4''NPT内螺纹 （2000 SLPM 可选配1-1/4''NPT内螺纹） |
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1000 slpm |
6.0 |
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1500 slpm |
9.0 |
6.0''H ×5.2''W ×2.9''D |
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2000 slpm |
5.0 |
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3000 slpm |
7.1 |
6.0''H ×5.2''W ×2.9''D |
1-1/4''NPT内螺纹 |
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5000 slpm |
3.4 |
7.0''H ×5.2''W ×3.9''D |
2''NPT内螺纹 |
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1、见公制图纸； 2、 与Beswick®，Swagelok®管，Parker®，表面密封，快接接头和卡套转接头相兼容，也可以按照用户需求与VCR，SAE接头相兼容。 |
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产品大图
气体编码
* 混合气体编码为“800”，选项中须有具体混合气体比例说明。
* 对于液体流量计和控制器，液体指纯水，液体编码为“900”。
* ALICAT非抗腐蚀流量计/控制器产品，可支持①类气体。
* ALICAT抗腐蚀流量控制器产品，可支持①、②类气体。
* ALICAT抗腐蚀流量计产品，可支持①、②、③类气体。
* 未在表中列出的气体，也可能被测控，具体请咨询我们。